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精密氣浮臺(tái)高低溫真空探針臺(tái)，600x600x200mm氣震臺(tái)，減震效果達(dá)97%，真空高低溫探針臺(tái)，凹視觀察窗，高精度探針滑臺(tái)。

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T，4探針手動(dòng)調(diào)節(jié)，純銀加熱臺(tái)，-196℃至350℃（溫控精確±0.5）

360°等離子清洗機(jī)KT-G1DQX，采用石英玻璃管，法蘭密封，360°旋轉(zhuǎn)*清洗。

等離子清洗機(jī)鄭州科 探KT-S2DQX，采用觸摸屏控制，質(zhì)量流量計(jì)檢測(cè)精度±1.5%,真空壓力檢測(cè)精確到1Pa。

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD，外形小巧方便移動(dòng)，觸摸屏控制工藝記憶儲(chǔ)存，自動(dòng)電動(dòng)擋板閥保護(hù)樣品，石英腔室更加潔凈方便清潔。

真空小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD，7寸觸摸屏控制，工藝記憶儲(chǔ)存方便下次使用，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)0-8轉(zhuǎn)/分，自動(dòng)電動(dòng)擋板保護(hù)樣品，石英腔室潔凈好清洗。

質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS，采用質(zhì)量流量計(jì)，316金屬管道，觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）

外置質(zhì)量流量計(jì)氣體配比器KT-C4ZS，配置7寸觸摸屏智能控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值），數(shù)據(jù)儲(chǔ)存方便收集相同氣體，管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng)。

微型高低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T結(jié)構(gòu)緊湊，適用于各種變溫測(cè)試。-196℃~400℃（配液氮致冷模塊）氣密腔室設(shè)計(jì)，可通保護(hù)氣氛

真空探針臺(tái)KT-Z160TZ，高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸...